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发布日期:2025-04-19 06:07    点击次数:151

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金融界2024年11月14日音书,国度常识产权局信息败露,上海芯东来半导体科技有限公司请求一项名为“高精度滑台组件及光刻机使命台”的专利,公开号CN 118938612 A开yun体育网,请求日历为2024年10月。

专利纲目败露,本发明提供了一种高精度滑台组件及光刻机使命台,高精度滑台组件包括基座、滑台、滑台起头部以及鼎新部;所述滑台用于承载晶圆载台;基座设有直线导轨,滑台装配于直线导轨,滑台起头部纠合于滑台以起头滑台沿直线导轨敞开。鼎新部的第一端纠合于滑台起头部,鼎新部的第二端动掸纠合于滑台的一端,鼎新部无意在滑台起头部的起头下绕滑台的一端朝围聚基座或者辩认基座的标的动掸。无意幸免滑台在敞开历程中发生细小抖动和摩擦,晋升了滑台静态性能和滑台组件的使用寿命。

本文源自:金融界

作家:谍报员



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